アモルファスシリコン（A-SI）薄膜モジュールは、アモルファスシリコン材料から作られた薄膜太陽光発電技術の一種です。それらは軽量で柔軟性があり、弱い光の反応が良好であり、さまざまなアプリケーションシナリオに適しています。以下では、アモルファスシリコン薄膜モジュールの構造とプロセスを詳細に紹介します。
1。基本的な構造と作業原則
A.構造：
a。基質：通常、ガラス（硬質）またはステンレス鋼/ポリマー（柔軟）。
b。透明な導電層（TCO）：酸化インジウム（ITO）またはフッ素ドープ酸化スズ（FTO）など、電流を収集して光を送信するために使用されます。
c。アモルファスシリコン層：1-2ミクロンのみの厚さで、血漿強化化学蒸気堆積（PECVD）によって生成されます。
d。ピンジャンクション：アモルファスシリコンは通常、サンドイッチ構造（Pタイプの層intrincic層-Nタイプ層）であり、内因性層（Iレイヤー）は主な光吸収です。
e。バック電極：金属（アルミニウムなど）または複合層、効率を改善するための光を反映しています。
B.作業原理：光励起電子シリコンの電子ホールペアは、組み込み電界（ピン接合）の作用下で電流を形成するように分離します。
2。製造プロセス
A.基質の洗浄：表面に汚染がないことを確認してください。
B. TCOの堆積：透明な導電層は、マグネトロンスパッタリングまたは化学蒸気堆積（CVD）によって調製されます。
C ..アモルファスシリコンの堆積：
a。 PECVDプロセス：シラン（SIH₄）と水素（H₂）は、低温（{200-300}程度）で導入され、プラズマ分解を通じてアモルファスシリコンフィルムを形成します。
b。スタッキング設計：効率を向上させるために、マルチジャンクション構造（A-SI/μC-SIスタッキングなど）を堆積させることができます。
D.バック電極生産：金属層のスパッタリングまたは蒸発。
E.カプセル化：EVAフィルムとバックシートは、ラミネート保護に使用されます。
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